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Who We Are

​關於我們

駿佳科技有限公司成立於2007年5月,其成員具多年機械設計與製造經驗,結合半導體製程,尤其是在電漿設備、自動化設備及半導體業設備的消耗性零件具開發與整合的能力,可提供客戶:

  1. 電漿設備
    - 活性離子蝕刻機(RIE/HDPRIE)
    - 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD/HDPCVD)

  2. 半導體設備消耗性零件
    - Susceptor
    - Heater
    - Retaining Ring
    - Collimator
    - Shower Head
    - Creamic Parts

  3. 逆向工程服務(Reversed Engineerring)

  4. 設備維修服務

 

駿佳科技同時代理台灣矽微電子股份有限公司開發的壓力系列產品:

- 數位式壓力表,
- 數位式壓力傳感器
- 數位式壓力開關。

駿佳科技與台灣矽微也於今年成功了共同開發提供半導體業用的高潔淨度VCR壓力接口的壓力系列產品:

- VCR Type 壓力傳感器
- VCR Type 壓力開關

Our Innovative Technology

The Possibilities Are Endless

At 駿佳科技, our comprehensive technological solutions help industry leading companies and individuals achieve greater success. Our platform has a wide range of features that were created with an aim to help you live differently. In order to empower our users to do better, 駿佳科技 is continually building upon its technology, so stay in touch to learn about upgrades and other changes. For a free demo, contact us today.

機械臂

設備工程

​研發單位及學校實驗室最佳選擇

- 活性離子蝕刻機(RIE)
- 高密度電漿離子蝕刻機(HDPRIE)
- 電漿輔助化學氣相沉積 (PECVD)
- 高密度電漿輔助化學氣相沉積
(HDPCVD)
- Hot wire ACCVD (研發中)

馬達測試

壓力設備

MIT台灣製造,品質國際水準

- 半導體業用

VCR壓力接口,高潔淨度

- 一般工業用

數位式壓力表

壓力傳感器
數位式壓力開關

機器廠

半導體設備消耗性零件

Shower Head

Metal Parts

Ceramic Parts

Retaining Ring